Veeco Instruments Inc. a annoncé qu'une société de semi-conducteurs de pointe a passé une commande pour plusieurs systèmes de recuit laser afin d'accélérer la conception et la fabrication de puces semi-conductrices logiques à porte enveloppante de 2 nanomètres. La commande comprend des systèmes de recuit laser LSA201 ainsi qu'un système de recuit nanoseconde NSA500. Le gate-all-around est un empilement vertical de canaux planaires qui permet d'améliorer la capacité de courant d'entraînement du dispositif avec des fuites minimales, de réduire la consommation d'énergie et d'améliorer les performances globales.

Le recuit par pointes laser est une technologie de recuit à la milliseconde utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs frontaux pour réduire la résistance des structures clés des transistors en activant les dopants. Le système LSA de Veeco est capable de recuire à haute température tout en respectant les budgets thermiques réduits des dispositifs avancés dans les nœuds de pointe. Le système NSA500 étend les capacités de recuit aux applications à faible budget thermique, telles que la fourniture d'énergie à l'arrière et le recuit de contact pour les nœuds avancés et les applications de modification des matériaux telles que l'élimination des vides, la recristallisation et la croissance des grains.

Ces étapes de recuit sont essentielles pour déterminer les propriétés électriques et les performances des dispositifs qui en résultent.