Park Systems a annoncé le lancement de sa ligne de produits Park NANOstandardo. Cette nouvelle ligne de produits fournit des échantillons standards d'étalonnage pour les mesures AFM et SEM, permettant aux utilisateurs de mesurer et d'analyser avec précision leurs échantillons. Le Park NANOstandard est équivalent aux produits traçables NIST pour mesurer, entre autres, les dimensions critiques (CD) des modèles de semi-conducteurs.

Les produits Park NANOstandard comprennent le caractériseur de pointe AFM (AFMTC) et l'étalonnage à fort grossissement (HMC). L'AFMTC est un échantillon d'étalonnage conçu pour évaluer le rayon et l'angle du demi-cône d'une pointe de microscope à force atomique (AFM). Il est nanomodelé avec des largeurs de ligne allant de 10 nm à 50 nm.

Il est traçable à l'Institut coréen de recherche sur les normes et les sciences (KRISS) pour la norme ISO 17034:2016 et est traçable par la constante de réseau atomique dans le substrat de silicium par HR-TEM. Un logiciel d'étalonnage et de calcul de l'incertitude est également fourni. L'échantillon standard HMC est constitué de silicium polycristallin et présente cinq valeurs certifiées pour des largeurs de ligne allant de 20 nm à 80 nm et cinq valeurs certifiées pour des valeurs de pas allant de 100 nm à 900 nm.

L'échantillon standard HMC est traçable au KRISS pour la norme ISO 17034:2016. Il est également traçable par la constante de réseau atomique dans le substrat de silicium par microscopie électronique à transmission à haute résolution (HR-TEM). Les produits Park NANOstandard sont fabriqués en collaboration avec Park Systems par Kims Reference Corp.

La ligne de produits Park NANOstandard est conçue pour fournir un étalonnage fiable et précis des systèmes AFM et SEM, permettant aux utilisateurs de mesurer et d'analyser avec précision leurs échantillons.