ACM Research, Inc. par le biais de sa filiale d'exploitation ACM Research (Shanghai), Inc. a présenté son outil Ultra Track, marquant ainsi son entrée sur le marché des rails. La participation d'ACM à cette nouvelle catégorie de produits est une évolution naturelle de son expertise dans les systèmes de nettoyage, de revêtement et de développement. La société a terminé la R&D pour son premier outil de revêtement autonome et son premier outil de développement pour l'emballage en 2013 et les a livrés en 2014. ACM prévoit d'expédier le premier outil Ultra Track Coater/Developer ArF à un client national chinois dans quelques semaines, et un modèle i-line en 2023, et a également commencé le développement d'un modèle KrF.

L'Ultra Track d'ACM est un outil de traitement de 300 mm qui offre un flux d'air descendant uniforme, une manipulation rapide des robots et un logiciel personnalisable pour répondre aux besoins spécifiques des clients. L'outil possède de multiples caractéristiques qui améliorent les performances en matière de défectuosité, de débit et de coût de possession. L'Ultra Track prendra en charge la gamme complète des applications de lithographie, y compris les procédés i-line, KrF et ArF.